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上海衍梓智能科技获得半导体承载体旋转反常检测设备专利使用磁力感应侦测半导体承载体旋转状况

来源:米乐网    发布时间:2025-08-29 07:46:44
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  金融界2025年7月21日音讯,国家知识产权局信息数据显现,上海衍梓智能科技有限公司获得一项名为“一种半导体承载体旋转反常检测设备”的专利,授权公告号CN223122488U,请求日期为2024年09月。

  专利摘要显现,本实用新型公开了一种半导体承载体旋转反常检测设备。上述检测设备与半导体加工设备合作设置。半导体加工设备包含反响腔体、石英盘、半导体承载体、以及用于驱动半导体承载体的旋转组织。检测设备包含坐落反响腔体内的磁力感应件、以及坐落磁力感应件的上方且挨近磁力感应件设置的磁铁。磁力感应件固定安装在石英盘上,且磁力感应件为磁力开关、磁簧开关或霍尔挨近开关,磁铁固定安装在半导体承载体上。旋转组织包含电机、承载体轴以及磁流体传动件,承载体轴和石英盘笔直活动贯穿设置,磁力感应件坐落承载体轴的相对应一侧方位处。本实用新型使用磁力感应来侦测半导体承载体的旋转圈数和旋转速度,及时判别反常旋转的状况,易于施行。

  天眼查资料显现,上海衍梓智能科技有限公司,成立于2020年,坐落上海市,是一家以从事科技推广和使用服务业为主的企业。企业注册资本292.6829万人民币。经过天眼查大数据分析,上海衍梓智能科技有限公司共对外出资了4家企业,产业线条,此外企业还具有行政许可2个。

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